Description
Cibles en céramique pressées à chaud (Hot Pressed Target Materials) :
Les matériaux céramiques pressés à chaud sont utilisés dans la fabrication de cibles pour les processus de dépôt physique en phase vapeur (PVD) et de dépôt chimique en phase vapeur (CVD).
Matériaux disponibles
- AlN – Nitrure d’aluminium
- B4C – Carbure de bore
- CeB6 – Hexaborure de cérium
- LaB6 – Hexaborure de lanthane
- Si3N4 – Nitrure de silicium
Applications courantes :
- Fabrication d’appareils électroniques
- Revêtements fonctionnels
- Appareils optoélectroniques
Propriétés et avantages :
- Haute densité
- Uniformité
- Excellente stabilité chimique
Ces propriétés sont essentielles dans les applications qui nécessitent des cibles de haute qualité et des revêtements fonctionnels aux propriétés optiques et électriques contrôlées.
